半導體設備
半導體設備泛指用于生產(chǎn)各類半導體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設備，屬于半導體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵支撐環(huán)節(jié)。半導體設備是半導體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)先導者，芯片設計、晶圓制造和封裝測試等需在設備技術(shù)允許的范圍內(nèi)設計和制造，設備的技術(shù)進步又反過來推動半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
以半導體產(chǎn)業(yè)鏈中技術(shù)難度最高、附加值******、工藝最為復雜的集成電路為例，應用于集成電路領(lǐng)域的設備通?？煞譃榍暗拦に囋O備（晶圓制造）和后道工藝設備（封裝測試）兩大類。
